Posizionare il substrato di silicio sul mandrino spin- coater . Selezionare una velocità di rotazione di 3000 RPM, e un tempo di giro di 2 minuti . Mettere qualche goccia di S1813 sul substrato e avviare la filatura .
2
Accendere la piastra calda e impostarlo a 110 gradi Celsius ( 230 gradi Fahrenheit ) . Attendere che la piastra ha raggiunto la temperatura di set-point . Mettere il campione sul piatto caldo per 2 minuti . Rimuovere il campione e lasciarlo raffreddare .
3
Porre il campione nel allineatore maschera , e posizionare la maschera con la pista circolare in assetto maschera sopra il campione . Esporre il campione alla luce ultravioletta per 2 secondi .
4
Porre il campione nel sviluppatore S1813 per 30 secondi . Lo sviluppatore rimuove le parti esposte del campione , formando una pista circolare che il materiale superconduttore può essere depositato in .
5
Porre il campione nel evaporatore, e inserire un paio di pellets di niobio nel crogiolo di evaporazione . Fare evaporare 100 nanometri di niobio . Rimuovere il campione dalla camera di evaporazione . Porre il campione in acetone . Acetone rimuove tutte le parti della pista circolare foto - resistere lasciando il superconduttore . Il campione è completa . Il niobio è superconduttore al di sotto del 9,3 Kelvin .